FlexSEM1000紧凑型扫描电镜

详情描述：

FlexSEM1000是日立高新公司新推出的一款机型小巧性能优异的钨灯丝电镜，拥有大束流和低球差的物镜
和聚光镜设计，配备了高分辨率二次电子探头及高灵敏度五分割背散射探头，具有卓越的低真空成像能量，
并且采用新的SEM MAP高精度导航系统及新全的自动化功能，使性能更加优越，使用更加简便。
特点
1.节能环保的设计
2.高效率的自动功能
3.简捷的操作界面
4.高分辨低真空观察
技术参数
分辨率
4.0nm（加速电压20kV，高真空模式，二次电子像）
 
15.0nm（加速电压1kV，高真空模式，二次电子）
 
5.0nm（加速电压20kV，低真空模式，背散射电子像）
 
放大倍率
底片倍率：6 – 300,000x
 
显示器倍率：16 – 800,000x
 
加速电压
0.3-20kV
低真空可变压力范围
6-100Pa
马达台
标配三轴自动马达
行程
X： 0-40mm
Y： 0-50mm
R： 360 ?
Z： 5-15mm
T： -15- 90?
电子光学系统
电子枪：预对中钨灯丝
信号检测系统：二次电子探测器；高灵敏度背散射探测器
 
真空系统
全自动阀门控制抽真空系统/涡轮分子泵：61L/S 1台
机械泵：100L/min 1台
安全装置：带停电、漏电保护的真空保护功能
操作辅助功能
电子束旋转；动态聚焦；画质优化功能
数据输入；2点间测量、角度测量、文字；预设倍率；
样品台位置导航功能（SEM MAP)；电子束标记